设备：盈利拐点（63%）

摘要

1、行业增速63％，持续验证半导体设备高景气

22Q1国内主要半导体设备厂商合计实现营收近50亿元，行业营收同比增速63％，相较全年51％的一致预期，实现超预期增长，进一步验证晶圆厂高速扩产下的半导体设备行业高景气度。

2、盈利能力持续改善，业绩拐点将至

业绩角度来看，随着国产半导体设备持续放量，主要国产设备公司盈利能力多数均实现较大幅度提升，利润增速远高于营收增速，可以预见随着2022年行业持续高景气度带动各半导体设备厂商持续放量，规模效应、产业结构优化等将进一步助推半导体设备公司盈利能力持续改善，迎接业绩增长拐点。

3、在手订单充沛，加大零部件备货保供应

合同负债角度看，北方华创合同负债再创新高，公司在手订单持续充沛；中微公司、拓荆科技合同负债大幅提升，一部分原因可能来自于公司变更设备收款策略（是否收取预收款，预售比例调整等），更多也侧面印证公司在手订单的持续增长。采购角度看，各国产半导体设备公司2021年依旧采取超前2倍多的采购策略以保证设备交付。尤其可以看到，北方华创2021年采购总额达176亿元，超当年50亿材料成本3倍之多；22Q1末存货也相较21Q1末大幅增长；侧面印证公司在手订单充沛，加足马力备货零部件满足晶圆厂旺盛需求。

建议关注：北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、万业企业、芯源微、华峰测控、至纯科技、长川科技

风险提示：（1）下游扩产不及预期；（2）零部件短缺影响出货；（3）贸易争端风险。

正文

1、行业增速63％，持续验证半导体设备高景气

北方华创：22Q1营收21亿元，同比增长51％；其中1－2月营收13．66亿元，同比增长135％，贡献一季度主要增长。同时，公司首次披露订单数据，1－2月公司新增订单超30亿元，同比增长超60％。全年来看，一季度通常为行业淡季，多数订单会在下半年集中确认收入，从而带动下半年营收高增速，此外结合公司披露的订单增速，我们预计公司后续季度将继续实现超预期增长。

中微公司：22Q1营收9．4亿元，同比增长57％；其中刻蚀设备营收7．14亿元，实现翻倍增长；MOCVD设备收入0．42亿元，同比下降68．59％，主要因公司新签Mini LED MOCVD规模订单尚未确认收入。展望后续季度，我们认为公司刻蚀设备将继续保持高增速增长；新签的超180腔Mini LED MOCVD订单也将随着产品进一步交付持续贡献收入。

盛美上海：22Q1营收3．5亿元，同比增长29％，稍不及预期，主要因为受疫情等因素影响导致公司交付设备验收确认进度放缓所致；预计随着后续厂务端情况改善，延迟部分收入将贡献后续季度增长，公司设备交付确认也将快速恢复常态化。

华峰测控：22Q1营收2．6亿元，同比增长123％，后续随着8300系列产品持续放量，公司产品结构将进一步改善，同时贡献公司收入规模进一步扩大。

长川科技：22Q1营收5．4亿元，同比增长83％，同样实现超预期增长；后续高端SOC测试机将继续为公司贡献增量收入。

拓荆科技：22Q1营收1亿元，同比增长82％；作为目前国内唯一实现PECVD和SACVD设备产业化应用的国产厂商，公司在晶圆厂薄膜沉积设备国产化推进中具有非常强的不可替代性，后续也将随着下游扩产实现高速增长。

万业企业：22Q1营收0．9亿元，同比下降77％，主要因为公司房地产业务占比仍比较大，一季度房地产部分未集中交付所致。半导体设备部分，公司旗下凯世通离子注入机于去年实现0－1突破，营收近1．2亿元；年初至今来看，公司半导体设备部分新增订单已超6．8亿元，将持续为公司后续集成电路设备业务增长提供保障。

至纯科技：22Q1营收5．4亿元，同比增长136％。2021年，公司半导体设备新增订单11．2亿元，公司预计2022年湿法设备订单目标将超20亿元，近翻倍增长验证公司信心与实力。

芯源微：22Q1营收1．8亿元，同比增长62％。截至21Q3末，公司公告的在手订单近13亿，随着订单逐步交付，将继续为公司2022年高速增长保驾护航。

2、盈利能力持续改善，业绩拐点将至

业绩角度来看，相较于海外设备大厂近30％的扣非后净利率水平，国内前道设备企业仍有较大提升空间。

但从22Q1数据来看，随着国产半导体设备持续放量，主要国产设备公司盈利能力多数均实现较大幅度提升，利润增速远高于营收增速，可以预见随着2022年行业持续高景气度带动各半导体设备厂商持续放量，规模效应、产业结构优化等将进一步助推半导体设备公司盈利能力持续改善，迎接业绩增长拐点。

具体来看：

1）北方华创综合扣非净利率水平相较21Q1的2％提升5 pcts达到7％；

2）中微公司随着MOCVD毛利率水平大幅改善，以及刻蚀毛利率抬升，扣非后净利率水平由21Q1的2％高速增长至22Q1的近20％；

3）盛美上海受收入确认延迟、以及加大研发开发新设备影响，扣非后净利率相较去年有所回调，达到7％；

4）华峰测控受产品结构调整以及规模效应影响，扣非后净利率由去年36％提高至48％；

5）长川科技则因所得税等影响，导致扣非后净利率回调至12％；

6）拓荆科技扣非后归母净利润仍未实现扭亏为盈，但随着2021年公司主要产品PECVD设备毛利率提升至40％多的行业水平，加之规模化之后研发投入比例常态化，我们期待公司2022年实现扣非后归母净利润扭亏为盈；

7）至纯科技22Q1扣非后净利率达7％，主要受益于更好的费用管控；

8）芯源微22Q1扣非后归母净利率达到17％，主要得益于更好的毛利率，以及研发费用相较去年一季度确认比例相对较低。

3、在手订单充沛，加大零部件备货保供应

合同负债角度看，北方华创合同负债再创新高，公司在手订单持续充沛；中微公司、拓荆科技合同负债大幅提升，一部分原因可能来自于公司变更设备收款策略（是否收取预收款，预售比例调整等），更多也侧面印证公司在手订单的持续增长。

扩产需求旺盛导致的供应紧张已经从半导体设备向上游零部件端蔓延。我们复盘2021年各大国产半导体设备公司的采购情况，可以看到各公司2021年依旧采取超前2倍多的采购策略以保证设备交付。尤其可以看到，北方华创2021年采购总额达176亿元，超当年50亿材料成本3倍之多；22Q1末存货也相较21Q1末大幅增长；侧面印证公司在手订单充沛，加足马力备货零部件满足晶圆厂旺盛需求。